|SZT-1 深圳华清仪器仪表有限公司
SZT-1数字式四探针测试仪
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SZT-1型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理 的多用途综合测量装置。它可以测量片状、快状半导体材料径向和轴向电阻率,测量片状半导体材料的电阻率和扩散层的薄层电阻(方块电阻),换上特制的四探针测试夹,还可以对金属导体的低中值电阻进行测量。此外,探针经过特殊加工后,还可以测量薄膜材料电阻率。广泛适用于半导体材料、器件厂、高等院校化学物理系、科研单位,对半导体材料的电阻性能测试。 本仪器测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针,定位准确,游移率小,使用寿命长。 技术参数: 1. 测量范围: 电阻率:10的-4次方~10的3 次方Ω-cm 方块电阻:10的-3次方 ~10的4 次方Ω/□ 电阻:10的-6次方 ~10的5 次方Ω 导电类型鉴别:电阻率范围 10的-4 次方~10 的3次方Ω—cm 2. 可测半导体材料尺寸 直径:φ15~100 mm 长度:≤400mm 3. 测量方法: 轴向、断面均可 4. 显示方式:31/2,数显,极性、过载自动显示,小数点、单位自动显示。 5. 恒流源: (1) 电流输出:直流电流0~100 mA连续可调。 (2) 量程:10、100μA、1、10、100mA (3) 误差:±0.5%读数±2个字 6.四探针测试探头 (1) 探针间距:1mm (2) 材料:碳化钨.探针机械游移率:±1.0% 7.电源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:<35W
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